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室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征
⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;
• 闭环定位精度优于 1nm;
• 最⼤负载 500 g;
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
可选版本 ⇨  | 正常版本  | 
.NM 绝对⽆磁版本; .HV, ⾼真空版本 ; .UHV ,超⾼真空版本;  | |
1 底⾯尺⼨*⾼度  | 180 mm × 150 mm × 20 mm  | 
2 主体材料  | 铝合⾦  | 
3 中空透孔  | 80 mm × 60 mm  | 
4 运动⾏程  | 200 um × 200 um  | 
5 闭环分辨率  | 优于1nm  | 
6 推荐最⼤负载  | 500 g  | 
7 闭环传感器  | 电容式  | 
8 电容精度  | 0.3 nm  | 
9 压电电容(X, Y)  | 6.5 uF  | 
15 到 40 摄⽒度  | |
10 推荐使⽤温度  | |
11 质量  | 1 kg  | 
12 安装  | 螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY  |